МИКРОСКОП СКАНИРУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ VEGA SBН С ПРИСТАВКОЙ INCA ENERGY 350

Производитель

Tescan

Страна

Чехия

Год выпуска

2007

Назначение

Исследование топографии поверхности различных проводящих образцов и материалов, оценка бесконтактным способом шероховатости поверхности, анализ форм и размеров отдельных зерен на изображении металлографического шлифа.

Основные технические характеристики

Разрешение (SE)

3 нм при 30 кВ; 8 нм при 3 кВ

Ускоряющее напряжение

от 200 до 30×103 В

Ток пучка электронов

от 1 до 2×103 пА

Внутренний диаметр камеры образцов

160 мм

Ширина дверцы камеры образцов

120 мм

Режим высокого вакуума

< 9×10 3 а Па

Режим среднего вакуума (SBU)

3–150 а Па

Режим низкого вакуума (SBU)

3–500 Па

Максимальная высота образца

30 мм